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AlN或AlGaN外延片

产品特点

高质量AlN 外延片

由 MOCVD 生长而得的 2 寸外延晶片

一致性好

产品详情

1、产品特点

高质量AlN 外延片

由 MOCVD 生长而得的 2 寸外延晶片

一致性好

 

2、产品外观


AlN或AlGaN外延片



3、外延片特(@22℃)

 产品裂纹晶体质量 表面粗糙度
002102
AlN<3mm<200<450<0.1nm
AlGaN<3mm<200<450<0.1nm


备注:

1)可根据客户要求定制特殊规格的 AlN 或 AlGaN 外延片;


4、包装


AlN或AlGaN外延片

1. 可提供 25 片/盒标准晶圆盒(图 A) 包装方式,盒身贴有注明每一片外延片的唯一身份信息的标签,所述身份信息例如批次信息,或激光刻号等;

2. 可提供单片晶圆盒(图 B)包装方式,盒盖上贴有注明该片外延片唯一身份信息的标签,所述身份信息例如批次信息,或激光刻号等。


5、使用建议

1. 外延片储藏

为避免外延片遭受不必要的污染及长时间氧化侵蚀,建议在不使用时将外延片储藏在干燥箱或者氮气柜中。推荐储藏条件温度应不超过35℃,湿度不大于65%;

2. 防护措施

外延片为易碎品,请在储藏、运输或加工过程中避免碰撞、挤压、敲击等事件发生,否则有可能导致外延片破碎或产生裂纹而无法使用;外延片的取放应采用专用的夹具;

3. 静电防护

本产品已具备一定的抗静电能力,但不代表在任意条件下都不会被静电损伤。必要的静电防护措施可有利于更好的使用本外延片;